中科院沈阳科学仪器股份有限公司 承担“防腐真空集成系统研发”项目

  　　中科院沈阳科学仪器股份有限公司承担的辽宁省科技创新重大专项项目是“防腐真空集成系统研发”。目前，该项目已经完成原理机的研发设计工作，下一步将继续完善原理机的性能检测并最终实现产品的批量化生产。

目前，防腐真空集成系统已成为集成电路、石化、制药等行业装备的基本组成部分，它的优化升级对这些行业的发展具有重要意义。该系统设备目前被国外企业所垄断，国内还没有实现批量化生产的能力。

此次沈阳科仪承担的“防腐真空集成系统研发”项目将重点攻克真空系统防腐、真空度快速响应与稳定控制、系统安全预警等关键技术；开发耐强腐蚀、高精度和快速反应的智能调压真空阀门和高耐腐蚀、高可靠性、节能的小体积、大抽速真空获得及真空检测等设备及部件，组成智能联动调压防腐真空集成系统。

该项目主要开发的核心零部件是耐强腐蚀、高精度和快速反应的智能调压真空阀门和高耐腐蚀、高可靠性、节能、环保、安全的小体积、大抽速真空获得设备。项目将从耐强腐蚀、高可靠性、安全环保和智能联动等几个方面来适应新刻蚀机的需求，搭建模拟刻蚀机的内部工艺测试平台对核心零部件产品进行内部模拟测试；围绕核心零部件产品形成刻蚀机的防腐真空系统集成，提供满足刻蚀整机设备需求的智能联动调压防腐真空集成系统，再将系统拿到客户现场的刻蚀机装备上进行测试验证，测试合格后，方具备进入整机厂商和生产线的能力。

防腐真空集成系统研制过程虽然复杂，但如果真正实现防腐真空集成系统的产业化，不但能加快地方集成电路装备制造业的发展，而且还将带动其相关产业链的快速发展，有利于行业的产品结构调整和提升行业的整体竞争力，增强国产真空集成系统的配套能力，形成具有同类产品国际先进水平和完全自主知识产权的核心零部件产品，填补我国同类产品的空白，打破长期以来进口产品占据国内市场的状况，为辽宁省集成电路装备产业提供有力支撑，为我国半导体产业提供基础保障。